進口激光干涉儀原理及用途。

利用光波作為載體的進口激光干涉儀具有精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨率高等優點。進口激光干涉儀在數控機床、鉆床、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準、科研開發及高端設備制造中得到廣泛應用。

測量原理。

發射單頻光束。線形干涉鏡射入后，被分成兩束射入反射鏡，再反射回分光鏡，Z返回激光干涉。在相長干涉和相消干涉的兩極間保持一定的光差，進口激光干涉儀能夠得到穩定的信號。這一變化可以用來測量兩個光程之間的差值，并計算光差。

如何工作？

一種混合氣體在陽極和陰極的高壓聯接下產生一種產生激光光束的混合氣體，通過增強激光強度向輸出激光傳輸部分光。其中，激光穩頻的精確度通過加熱器控制激光管長0.05ppm。這時，輸出穩定后，可進行激光干涉測量。現在，激光干涉儀都采用的是氦激光管，輸出波長為633納米。

激光器的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量、壽命等參數直接影響激光器的性能。頻率是激光干涉Z的基本參量，頻率(波長)的精度和穩定性是進口激光干涉儀測量精度的保證。

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