使用激光干涉儀：

1.直線度測(cè)量

激光干涉儀的直線度測(cè)量有兩個(gè)鏡組從0到0測(cè)量。1m至4m測(cè)量長(zhǎng)程從1m至30m。就短距離而言，距離是指直線干鏡和直線反射鏡之間的距離，即可以測(cè)試的軸長(zhǎng)。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，距離是激光頭和直線反射器之間的距離。在這兩種情況下，激光干涉儀的直線度測(cè)量范圍為±2.5mm。線性干涉鏡與反射鏡成對(duì)匹配。因此，元素不能與其它線性工具進(jìn)行交換。每一個(gè)線性干涉鏡和反射鏡都標(biāo)有獨(dú)立的序列號(hào)。

①沿水平軸直線度測(cè)量

水平軸直線度檢測(cè)，在激光干涉儀的激光和直線度反射器之間安裝直線度干擾鏡。激光發(fā)射的光束將通過(guò)直線度干擾鏡。此時(shí)，光束將被分成兩個(gè)相同頻率的光源。兩束激光器通過(guò)直線度反射鏡反射到干擾鏡中，然后返回到激光器中。通過(guò)移動(dòng)直線度反射器干擾兩個(gè)相同光源的光束。激光器將檢測(cè)干擾光波，以確定直線度干擾鏡移動(dòng)方向的偏差。并記錄設(shè)備安裝和調(diào)試的偏差值。

②測(cè)量垂直軸線度

垂直軸度檢測(cè)，引入垂直轉(zhuǎn)向鏡，將激光干涉儀的水平光束轉(zhuǎn)化為垂直光束，檢測(cè)原理與水平軸度檢測(cè)相同。

2.線性測(cè)量

激光干涉儀的線性測(cè)量可以檢測(cè)機(jī)床軸的多個(gè)精度指標(biāo)，包括定位精度，重復(fù)定位精度，反向間隙等。線性測(cè)量鏡組包括兩個(gè)線性反射鏡和一個(gè)線性分光鏡。

激光干涉儀應(yīng)設(shè)置線性測(cè)量，將線性反射鏡與兩個(gè)緊固螺紋的分光鏡連接起來(lái)。這種組合元素被稱為線性測(cè)量。“線性干涉鏡”，可作為激光束的參考路徑。線性干涉鏡位于激光器和線性反射器之間的光束路徑上。激光束進(jìn)入線性干涉鏡，然后分為兩個(gè)光束。一個(gè)光束（稱為參考光束）進(jìn)入連接分裂鏡的反射器，第二個(gè)光束（測(cè)量光束）通過(guò)分裂鏡進(jìn)入第二個(gè)反射器。射擊。兩個(gè)光束再次反射回分裂鏡并返回激光頭，其中一個(gè)探測(cè)器監(jiān)測(cè)兩個(gè)光束之間的干擾。