白光干涉儀與激光干涉儀的區(qū)別是什么？

  盡管激光干涉儀和白光干涉儀屬于干涉儀的一大類，但它們之間有很大的不同！下面小編會告訴你它們的不同之處。

激光干擾。

基于邁耳孫干預(yù)原理的激光干涉測量：

(1)激光干涉儀主機(jī)輸出的激光光束經(jīng)分光鏡后，被分成兩束激光(線偏振光)；

(2)由于兩束激光頻率相同，振動方向一致，相位差不變，因此兩束激光反射鏡反射鏡反射鏡與出射光(紅線)平行而形成的干涉條件；

(3)角錐形反射鏡每移動一半激光波長，就會產(chǎn)生完全明暗干涉。測量的干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。

  通過對機(jī)床、直線電機(jī)、滑臺、模具、自動化設(shè)備、機(jī)器人等的測量設(shè)備的研究，從激光干涉原理可以看出激光干涉法的應(yīng)用。

白色干涉。

  白光干涉儀是利用白光干涉技術(shù)原理，將光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，被分光棱鏡分成兩束，其中一束通過被測表面反射回來，另一束經(jīng)過光束干涉，再通過測量表面的三維形狀。

  用白光干涉法測量三維顯微結(jié)構(gòu)。主要用于半導(dǎo)體制造及包裝工藝測試，3C電子玻璃屏具及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、制造執(zhí)行系統(tǒng)設(shè)備等。可對各種物體表面從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面進(jìn)行測量，提供從納米到微米工件的粗糙度、平面度、微觀幾何輪廓、曲率等。為ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)提供300多個2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

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